AZBIL日本山武PBC-201VNO,PBC-201VN0
azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器
概要PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個CMOS線性圖像傳感器專長檢測薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。
-
FDN算法
高精度的邊緣檢測*1
-
針對檢測面污垢會影響檢測精度的課題，配置了線性圖像傳感器和光量衰減報警功能。
-
透明物體檢測用算法
可穩(wěn)定檢測透明物體。
-
標(biāo)準(zhǔn)雙通道輸入控制器
可進(jìn)行雙檢測值運(yùn)算，減少布線工作量，節(jié)省空間。
-
RS-485通信(僅對應(yīng)PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可將數(shù)據(jù)傳輸至PLC及觸摸界面。
-
安 全性能
JIS 1級光束。不需要任何特別保護(hù)措施。
-
多功能
可忽略薄膜不規(guī)則部分的干擾消除功能*2
玻璃基板對準(zhǔn)時傾斜度θ計(jì)算功能*3
通過位置變化檢測功能可檢測出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
*1. 重復(fù)精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. 僅 限于 PBC-201VN0/2
*3. 僅 限于 PBC-203VN2
測定內(nèi)容
|
控制器型號
|
邊緣位置測定
(透明體或不透明體)
|
遮光寬度測定
|
間隙測定
|
|
7 mm傳感器頭用PBC-201VN0
|
○
|
―
|
―
|
|
7 mm傳感器頭用PBC-201VN2
|
○
|
○
|
○
|
|
30 mm傳感器頭用PPBC-203VN2
|
○
|
―
|
―
|
重復(fù)精度 ±1 μm* — 準(zhǔn)確檢測出真實(shí)的邊緣位置
FDN算法是一種對于任意的工作距離(WD)都能準(zhǔn)確地計(jì)算出真實(shí)的邊緣位置的算法。
*PBZ-CL007V的重復(fù)精度為±1 μm，PBZ-CL030H/V的重復(fù)精度為±5 μ。檢測條件請參照規(guī)格。
-
菲涅爾衍射
光射在刀片或薄膜等薄型物體邊緣處會發(fā)生衍射。受光部衍射光的強(qiáng)度分布取決于受光器與薄型物體之間的距離(WD)。
不受檢測面污垢引起的受光光量衰減的影響
受光單元采用線性圖像傳感方式，不受檢測面污垢的影響，實(shí)現(xiàn)高精度的檢測。并且，
配置了“光強(qiáng)度衰減報警功能”，到了維修時期便會發(fā)出警報。
-
傳統(tǒng)方式(PD)
因遮光引起受光量的減少，使PD的線性輸出發(fā)生變化。這種傳統(tǒng)的PD方式，由于受光面污垢（或檢測物透明度）造成受光光量衰減，使輸出值發(fā)生變化。所以，為了防止污垢，需要進(jìn)行空氣吹掃。
-
本公司的線性圖像傳感方式
根據(jù)各像素的亮度信息，測出遮光寬度。即使受光光量衰減，只要線性圖像傳感器的入光量不變，邊緣位置的輸出值就不會變化。
干擾消除功能
不檢測標(biāo)簽等凸起物，只檢測薄膜的邊緣。
將當(dāng)前的測定值與設(shè)定時間（輸出延遲時間）前的數(shù)值進(jìn)行比較，如果變化量超過了設(shè)定值（跳讀設(shè)定值），則保持變化前的數(shù)值并將其模擬輸出。
θ演算功能
根據(jù)玻璃邊緣的位置變化，演算傾斜度θ后輸出。測量范圍：±3°。
缺口檢測功能（位置變化輸出）
設(shè)定位置變化時間(T)和位置變化量(L)，如果變化量超過設(shè)定的傾斜度，進(jìn)行數(shù)字(DO)輸出。
應(yīng)用
-
檢測晶圓的偏芯和缺口位置
能夠穩(wěn)定檢測透明度高的玻璃晶圓或砷化鎵晶圓。并且，由于采用了線性圖像傳感方式，因此還能越過視孔進(jìn)行檢測。
-
檢測薄膜蜷曲
通過使用2對傳感器探頭計(jì)算傳感器探頭間的輸出值，可同時檢測薄膜蜷曲和薄膜寬度。
-
檢測玻璃基板凹凸和裂痕
利用位置變化檢測功能，可檢測到傳送帶上的玻璃基板邊緣的缺口和裂痕。
-
測定玻璃基板的XYθ
利用3對傳感器，除了能計(jì)算玻璃基板的X和Y值外，還能通過內(nèi)部演算計(jì)算出θ值。
規(guī)格
|
|
平行激光束類型
|
|
傳感器
|
控制器
|
傳感器
|
控制器
|
|
型號
|
PBZ-CL007V
|
PBC-201VN0
|
PBC-201VN2
|
PBZ-CL030H
|
PBZ-CL030V
|
PBC-203VN2
|
|
檢測寬度
|
7 mm
|
30 mm
|
|
測定距離
|
10 - 300 mm
|
10 - 500 mm
|
|
工作距離(WD)
|
10 - 290 mm
|
10 - 490 mm
|
|
移動精度
|
±20 μm *大*1
|
±50 μm *大*3
|
|
重復(fù)精度
|
±1 μm *大*2
|
±5 μm *大*4
|
|
模擬輸出更新周期
|
―
|
500 μs
|
―
|
10 ms
|
|
傳感部溫度特性
|
0.1 % FS/°C
|
―
|
0.1 % FS/°C
|
―
|
|
使用溫度范圍
|
0 - 45°C
|
|
使用濕度范圍
|
30 - 85 % RH
|
|
電源電壓
|
―
|
24 Vdc ± 10 %
|
―
|
24 Vdc ± 10 %
|
|
模擬輸出
|
―
|
1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 輸出
|
―
|
1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 輸出
|
|
事件輸出
|
―
|
同步型晶體管輸出：4 點(diǎn)
|
―
|
同步型晶體管輸出：4 點(diǎn)
|
|
外部輸入
|
―
|
2
|
―
|
2
|
|
數(shù)字顯示
|
―
|
7段4位
|
―
|
7段4位
|
|
光源
|
可視半導(dǎo)體激光: JIS 1級
|
―
|
可視半導(dǎo)體激光: JIS 1級
|
―
|
|
保護(hù)結(jié)構(gòu)
|
IP40
|
―
|
IP40
|
―
|
|
通信
|
―
|
―
|
RS-485
|
―
|
RS-485
|
|
傳感器探頭與控制器間的纜線總長度
|
*大 5 m
|
*大 30 m
|
上述規(guī)格是檢測物體和邊緣方向被設(shè)定為“不透明體TOP”或“不透明體BOTTOM”時的數(shù)據(jù)。其他設(shè)定時，請與本公司聯(lián)系。
*1. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*2. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±3.5 mm的條件下，重復(fù)20次的平均值。
*3. 投受光器間距離=100 mm，工作距離=50 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*4. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±15 mm的條件下，重復(fù)20次的平均值。
工作距離(WD): 受光器與檢測物之間的距離
